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基于單晶鈮酸鋰薄片的薄膜體聲波諧振器及其制備方法

1049   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 21:06:33
本發(fā)明涉及微電子器件領(lǐng)域,具體涉及一種基于單晶鈮酸鋰薄片壓電材料的薄膜體聲波諧振器,以及該諧振器的制備方法。本發(fā)明用于克服現(xiàn)有薄膜體聲波諧振器機(jī)電耦合系數(shù)過低的缺陷,該薄膜體聲波諧振器包括Si襯底,于Si襯底上形成的圖形化鍵合膠支撐層,于鍵合膠支撐層上設(shè)置的單晶鈮酸鋰薄片,于鍵合膠間隙中設(shè)置的下電極層附著于鈮酸鋰薄片下表面,于鈮酸鋰薄片上表面形成上電極層,所述上電極層、下電極層對應(yīng)設(shè)置。該薄膜體聲波諧振器既能滿足高頻率,也能保持極大的機(jī)電耦合系數(shù),能夠達(dá)到43%,從而極大的提高了器件傳輸頻率帶寬;且該諧振腔結(jié)構(gòu)簡單、加工重復(fù)性好,能夠獲得一致性良好的大規(guī)模線列和陣列器件。
聲明:
“基于單晶鈮酸鋰薄片的薄膜體聲波諧振器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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