本發(fā)明涉及制備鈮酸鋰光波導(dǎo)的鈦擴散裝置及 其方法,所述鈦擴散裝置包括三氧化二鋁支架,用于支承待擴 散的鈮酸鋰基片;三氧化二鋁陶瓷盒,用于盛裝支承有鈮酸鋰 基片的三氧化二鋁支架;鈮酸鋰粉末,置于陶瓷盒底部位于支 架的下方;擴散爐,由三氧化二鋁陶瓷管和套置在其外周的加 熱爐管組成,用于產(chǎn)生高溫擴散環(huán)境;鼓泡裝置,用于產(chǎn)生高 溫的濕氧供給擴散爐。本發(fā)明由于采用高純Al2O3管道、容器及支架作為鈦擴散裝置,克服了高溫下在石英容器擴散環(huán)境中發(fā)生的復(fù)雜化學(xué)反應(yīng),消除了該反應(yīng)在波導(dǎo)中產(chǎn)生光散射點等缺陷。而在Al2O3盒中加入鈮酸鋰粉末,進一步抑制Li2O的擴散,提高了波導(dǎo)質(zhì)量。
聲明:
“制備鈮酸鋰光波導(dǎo)的鈦擴散方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)