本發(fā)明公開了一種低驅動電壓鈮酸鋰電光調制器,通過在X切Y傳鈮酸鋰晶體上制作脊型波導結構,并將電光調制器的電極結構制作于脊型波導結構的兩側,使電光調制器電極結構之間的電場可以沿著水平方向分布。與現(xiàn)有鈮酸鋰電光調制器相比,本發(fā)明提出的鈮酸鋰電光調制器可以大幅提升電場對光場的調制效率,降低器件的驅動電壓。另外在其他方案中,還可以采用低介電常數材料作為鈮酸鋰薄膜的基底晶片并在鈮酸鋰薄膜上制作脊型波導結構,既可以有效地提升鈮酸鋰電光調制器的工作帶寬,又可以降低鈮酸鋰電光調制器的驅動電壓。還提供一種低驅動電壓鈮酸鋰電光調制器的制造方法。
聲明:
“低驅動電壓鈮酸鋰電光調制器及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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