本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件制備領(lǐng)域,特別是涉及一種鉭酸鋰熱釋電紅外探測器及其制造方法。本發(fā)明采用具有四邊固支基板的懸膜結(jié)構(gòu),在懸膜與支撐基板之間引入絕緣隔熱材料,降低探測器的熱導(dǎo),提升探測率。同時,在絕緣隔熱材料上制備了通孔,通過在通孔中填充導(dǎo)電材料實現(xiàn)電極與支撐基板的導(dǎo)通,在保證滿足導(dǎo)電性的同時,對探測器熱導(dǎo)的影響很小。本發(fā)明采用兩步法減薄鉭酸鋰晶片,首先利用減薄效率高的機械研磨拋光減薄或離子束刻蝕減薄技術(shù),使鉭酸鋰晶片接近目標厚度值,然后再利用化學(xué)腐蝕減薄去除前一步減薄的損傷層,并達到最終的目標厚度值。采用兩步法減薄,既具有快速的減薄特點,同時又避免了鉭酸鋰晶片存在損傷層的問題。
聲明:
“鉭酸鋰熱釋電紅外探測器及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)