本發(fā)明屬于濾波器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種低雜波鈮酸鋰薄膜聲表面波濾波器及其制備方法；該方法包括：支撐襯底、介質(zhì)層、鈮酸鋰薄膜和叉指換能器；所述介質(zhì)層包括介電薄膜層和預(yù)埋介電材料，預(yù)埋介電材料嵌入設(shè)置在鈮酸鋰薄膜內(nèi)部且呈周期性分布，介電薄膜層設(shè)置在支撐襯底和鈮酸鋰薄膜之間，且介電薄膜層和預(yù)埋介電材料相鄰；本發(fā)明通過在壓電薄膜層即介電薄膜層中內(nèi)埋介電材料，抑制雜波信號，降低寬帶單晶薄膜聲表面波濾波器通帶的雜波干擾，提升濾波器通帶平坦度，實(shí)現(xiàn)單晶薄膜聲表面波濾波器整體性能提升，實(shí)用性高。