本發(fā)明公開了一種鈮酸鋰單晶的變速切割方法?;静襟E為:1、用膠水粘接鈮酸鋰單晶,保證晶向在合格范圍內(nèi);2、聚乙二醇和碳化硅微粉按照一定比例配置成切割砂漿;3、將粘接好的鈮酸鋰單晶放入多線切割機(jī)的工作臺(tái)工位中,將工作臺(tái)的勻速進(jìn)給切割過程改為按照切割位置分段的不同速度的進(jìn)給切割;4、切割后的鈮酸鋰晶片進(jìn)行脫膠、清洗、干燥。本發(fā)明采用的切割方法操作簡(jiǎn)單;一次切割可得到數(shù)百片晶片,切割效率高;切割后的幾何參數(shù)優(yōu)于定速多線切割后樣片的幾何參數(shù);通過公式可以快速找到合適的切割速度,進(jìn)而設(shè)置較為合理的切割程序,可以避免反復(fù)試驗(yàn),節(jié)省了時(shí)間和物料。
聲明:
“鈮酸鋰單晶的變速切割方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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