本發(fā)明屬于集成光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,具體公開(kāi)了一種利用溶膠凝膠方法中的DC-RTA技術(shù),制備適用于離子交換的摻鋰玻璃薄膜的工藝。該工藝的主要內(nèi)容是首先配制好含有適當(dāng)鋰離子的溶膠,然后將該溶膠均勻涂覆在基片上后高溫灼燒,使基片表面形成一層凝膠玻璃層。反復(fù)上述涂覆灼燒過(guò)程,直至凝膠玻璃層達(dá)到所需厚度。該薄膜具有理想的光學(xué)質(zhì)量,并且可以使用傳統(tǒng)的離子交換工藝進(jìn)行Ag+-Li+離子交換。該技術(shù)可以用來(lái)幫助生產(chǎn)、開(kāi)發(fā)各類(lèi)以硅酸鹽材料為基質(zhì)的無(wú)源或有源光波導(dǎo)器件。在集成光學(xué)領(lǐng)域具有巨大的應(yīng)用前景和工業(yè)價(jià)值。
聲明:
“適用于離子交換的摻鋰玻璃薄膜的制備工藝” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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