本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體集成光電子器件技術(shù)領(lǐng)域，提供一種基于鈮酸鋰薄膜的脊形波導(dǎo)端面耦合器，該端面耦合器具有異質(zhì)兩步倒錐形波導(dǎo)的耦合結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于將光纖中的光耦合進(jìn)入薄膜鈮酸鋰芯片上的波導(dǎo)。該端面耦合器自下而上包括襯底層、絕緣層和耦合結(jié)構(gòu)，其中，耦合結(jié)構(gòu)包括順序相接的覆蓋波導(dǎo)、由氮化硅制成的第一步倒錐形波導(dǎo)、由LION薄膜材料制成的第二步倒錐形波導(dǎo)和器件波導(dǎo)。本申請(qǐng)首先將光纖與覆蓋波導(dǎo)端面對(duì)接，光纖模場(chǎng)尺寸與覆蓋波導(dǎo)匹配，光能量高效地進(jìn)入覆蓋波導(dǎo)傳播；隨后，覆蓋波導(dǎo)中的模場(chǎng)又通過兩步倒錐形波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，依次且有效地轉(zhuǎn)換為條形波導(dǎo)模場(chǎng)和脊形波導(dǎo)模場(chǎng)，最終進(jìn)入功能器件，從而實(shí)現(xiàn)高效率的纖芯耦合。