本發(fā)明公開了一種硅基鈮酸鋰混合電光調(diào)制器。電光調(diào)制器中的傳輸波導(dǎo)、電光調(diào)制波導(dǎo)是水平狹槽波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，光場(chǎng)在波導(dǎo)中以TM模式進(jìn)行傳輸，調(diào)制電極置于電光調(diào)制波導(dǎo)旁并能形成電連接，用調(diào)制電極向電光調(diào)制波導(dǎo)施加電場(chǎng)實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)或者相位的調(diào)制；硅?鈮酸鋰?硅的水平狹槽波導(dǎo)結(jié)構(gòu)為由上平板和下平板為硅、中間的狹槽為鈮酸鋰的三層波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，中間的狹槽為銜接連接于上平板和下平板之間的截面為梯形的結(jié)構(gòu)，且狹槽的鈮酸鋰材料為z切向，即其非常光軸垂直于光場(chǎng)傳輸面。本發(fā)明用于光通信系統(tǒng)中的電光相位調(diào)制和電光強(qiáng)度調(diào)制，具有大調(diào)制帶寬、低工作電壓、高調(diào)制效率、小器件尺寸、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)簡(jiǎn)易、工藝簡(jiǎn)便等優(yōu)點(diǎn)。