本發(fā)明公開了一種周期極化鈦擴(kuò)散近化學(xué)計(jì)量比鈮酸鋰條形光波導(dǎo)制備方法,該方法包括:樣品準(zhǔn)備、光刻、濺射
鈦金屬薄膜、剝離、鈦金屬膜預(yù)擴(kuò)散、富鋰VTE處理、光波導(dǎo)端面拋光、周期極化共八個(gè)步驟。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明制備的光波導(dǎo),具有優(yōu)良性能:損耗小,晶體缺陷少,光學(xué)均勻性好,且在波長變換中能具有獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn):速度快,噪聲低,效率高,無啁啾,而且以相同的效率同時(shí)向下、向上轉(zhuǎn)換多個(gè)波長,能實(shí)現(xiàn)全透明變換。
聲明:
“周期極化鈦擴(kuò)散近化學(xué)計(jì)量比鈮酸鋰條形波導(dǎo)及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)