本發(fā)明公開了一種鈮酸鋰單面拋光片背面不良的返工方法,包括如下步驟:將鈮酸鋰單面拋光片進(jìn)行檢驗(yàn),將檢驗(yàn)出背面不良的晶片進(jìn)行標(biāo)記;將標(biāo)記的晶片放入堿性清洗液中超聲清洗;將清洗后的晶片拋光面進(jìn)行貼膜;將兩片貼膜后晶片的貼膜面粘合,獲得粘合工件;將粘合工件進(jìn)行雙面研磨;將研磨后的粘合工件清洗并脫膜。本發(fā)明通過工藝改進(jìn),提高產(chǎn)品良品率,返工后的單面拋光片具有背面粗糙度一致性好、平坦度指標(biāo)高、加工效率高、生產(chǎn)成本低、工藝易實(shí)現(xiàn)和易監(jiān)控等特點(diǎn),能夠滿足產(chǎn)業(yè)化大規(guī)模批生產(chǎn)的要求。
聲明:
“鈮酸鋰單面拋光片背面不良的返工方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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