本實用新型涉及一種鈮酸鋰電光調(diào)制器
芯片,屬于鈮酸鋰電光調(diào)制技術(shù)領(lǐng)域。本實用新型在調(diào)制器芯片行波電極下設(shè)計加工一系列盲孔,在降低微波有效折射率,緩解速度失配,增大器件帶寬的同時,相比在背面劃一條連續(xù)長槽的方法又大幅提高了調(diào)制器芯片的機械強度,提高抗震、抗沖擊性能。
聲明:
“鈮酸鋰電光調(diào)制器芯片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)