本發(fā)明公開了一種薄膜鈮酸鋰電光調(diào)制器及其制備方法。包括從下到上依次布置的襯底、埋氧層、聚合物層和光波導(dǎo)層，在光波導(dǎo)層上面或者在光波導(dǎo)層下面的聚合物層之中布置金屬信號電極與金屬接地電極，光波導(dǎo)層上底面布置形成1*2分束器、馬赫曾德爾調(diào)制器和2*1合束器，1*2分束器和2*1合束器位于馬赫曾德爾調(diào)制器的兩側(cè)，且1*2分束器的兩個輸出端經(jīng)馬赫曾德爾調(diào)制器和2*1合束器的兩個輸入端連接。本發(fā)明避免工藝過程中由襯底帶來的微波損耗，降低工藝難度，提高調(diào)制效率，實(shí)現(xiàn)了超大帶寬，低損耗，實(shí)現(xiàn)緊湊且超高性能的電光調(diào)制器。