本發(fā)明公開了一種射頻磁控濺射法制備高性能全固態(tài)薄膜
鋰電池的方法。該方法包括以下步驟:(1)設(shè)計(jì)在不同徑向尺寸上相同電池形狀的掩模版;(2)在襯底基片上覆蓋掩模版,在磁控濺射設(shè)備上裝樣,安裝靶材;(3)射頻磁控濺射法濺射正極集流體、正極、電解質(zhì)、負(fù)極、負(fù)極集流體,制備薄膜電池;(4)對不同徑向尺寸上獲得的電池分別進(jìn)行充放電性能測試;(5)分析獲得徑向性能最優(yōu)的區(qū)域。采用本發(fā)明的方法通過對不同徑向尺寸上獲得的薄膜電池進(jìn)行性能分析,可以獲得具有最佳性能的徑向區(qū)域。
聲明:
“射頻磁控濺射法制備高性能全固態(tài)薄膜鋰電池的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)