本發(fā)明提供一種用于鋰電保護的開關器件及其制作方法，包括：P+型襯底及P?型外延層；第一絕緣溝槽，形成于體接觸區(qū)域；N型阱區(qū)；兩個P型阱區(qū)；兩個柵極結構；共用的N?型漂移區(qū)，形成于兩個柵極結構之間；N型源區(qū)及P+型接觸區(qū)；介質(zhì)層，其打開有兩個源區(qū)接觸窗口及一體區(qū)接觸窗口，所述體區(qū)接觸窗口內(nèi)的所述絕緣介質(zhì)被去除形成第二溝槽，且第二溝槽側壁保留有絕緣介質(zhì)；以及填充于所述源區(qū)接觸窗口、體區(qū)接觸窗口及所述第二溝槽內(nèi)的電極材料。本發(fā)明采用共用漂移區(qū)的方式構建MOSFET器件，大大降低漂移區(qū)區(qū)域電阻，同時保證耐壓不變；將其中一個源區(qū)電極引到
芯片背面，可有效降低器件內(nèi)阻；體區(qū)電極側壁的絕緣介質(zhì)可有效降低漏電流，并提高耐壓。
聲明：
“用于鋰電保護的開關器件及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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編輯：管理員
來源：中冶有色技術網(wǎng)
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2025年03月25日 ~ 27日 
