本發(fā)明涉及一種β二亞胺基硅化合物,采用以下方法制備:(1)將β二亞胺或其衍生物溶解在反應(yīng)溶劑中,在-78~0℃攪拌條件下加入烷基鋰溶液,β二亞胺或其衍生物與烷基鋰的摩爾比為1:1~1.2;恢復(fù)到室溫后繼續(xù)攪拌反應(yīng)0.5~3小時(shí),得到反應(yīng)混合物;(2)將步驟(1)得到的反應(yīng)混合物過濾,得到鋰鹽固體,將鋰鹽固體溶于有機(jī)溶劑中,得到鋰鹽溶液;(3)在-78~0℃按照鋰鹽與含硅反應(yīng)物摩爾比1~4:1,向鋰鹽溶液中滴加含硅反應(yīng)物或其溶液,升至一定溫度反應(yīng)3~10小時(shí);(4)將步驟(3)得到的反應(yīng)混合物進(jìn)行過濾,濾液濃縮后結(jié)晶或減壓蒸餾得到含β二亞胺基硅化合物。本發(fā)明所述化合物可以在集成電路生產(chǎn)中用于制備氮化硅、含碳氮化硅等薄膜。
聲明:
“β二亞胺基硅化合物及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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