本發(fā)明公開了一種溫度自補償、寬量程的柔性無線無源聲表面波壓強傳感器,包括作為壓電層的鈮酸鋰單晶壓電薄膜;形成在所述鈮酸鋰單晶壓電薄膜上的至少一個聲表面波傳感單元,每個聲表面波傳感單元包括形成在所述鈮酸鋰單晶壓電薄膜上的單端諧振器、與所述單端諧振器電氣連接的微帶天線;覆蓋在所述鈮酸鋰單晶壓電薄膜上的密閉蓋,所述密閉蓋與所述鈮酸鋰單晶壓電薄膜形成密閉腔體。該柔性無線無源聲表面波壓強傳感器以鈮酸鋰單晶壓電薄膜作為壓電層,使得其具有寬量程,能夠檢測0~4MPa范圍內的壓強,還具有溫度自補償功能,有利于提高柔性無線無源聲表面波壓強傳感器的精度。
聲明:
“溫度自補償、寬量程的柔性無線無源聲表面波壓強傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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