亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 加工技術(shù)

> 修復(fù)低k介電膜中的碳損耗

修復(fù)低k介電膜中的碳損耗

996   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:15:13
本發(fā)明公開了一種修復(fù)受損的低k介電材料的方法。常用于生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的基于等離子體的方法通常會(huì)損壞含碳的低k介電材料。受損的介電材料暴露在水分中時(shí)可能形成硅醇基團(tuán)。在優(yōu)選的實(shí)施方案中,兩步法將硅醇轉(zhuǎn)化為合適的有機(jī)基團(tuán)。第一步包括用鹵化劑將硅醇轉(zhuǎn)化為鹵化硅。第二步包括利用衍生劑,優(yōu)選利用有機(jī)金屬化合物用合適的有機(jī)基團(tuán)取代鹵化物。在一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方案中,鹵化劑包括亞硫酰二氯,有機(jī)金屬化合物包括烷基鋰,優(yōu)選甲基鋰。在另一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施方案中,有機(jī)金屬化合物包括格氏試劑。本申請公開的實(shí)施方案有利于生產(chǎn)商通過選擇性加入有機(jī)基團(tuán)對低k介電材料的密度、極化和離子化性能進(jìn)行設(shè)計(jì)。
聲明:
“修復(fù)低k介電膜中的碳損耗” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
加工技術(shù)
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記