本發(fā)明實施例公開了一種熱釋電探測單元,包括:陶瓷襯底;鉭酸鋰晶片;下電極層,形成在鉭酸鋰晶片的第一表面上,并且由多孔黑金金屬薄膜形成并與陶瓷襯底接觸;上電極層,形成在鉭酸鋰晶片的第二表面上,并且由黑金金屬薄膜形成;過渡層,形成在上電極層上;介質(zhì)層,形成在過渡層上;吸收層,形成在介質(zhì)層上。本發(fā)明的實施例中,下電極層是多孔的結(jié)構(gòu),具有較大的孔率,因此熱傳導率較低,可以降低熱損失。因此該熱釋電探測器可以較多的吸收紅外輻射及太赫茲輻射,具有較小的熱損失,從而提高了熱釋電探測器的性能。
聲明:
“熱釋電紅外探測單元及制造方法及其熱釋電紅外探測器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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