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帶有人工疇構(gòu)造的聲表面波器件用的基片及其制備方法

847   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:22:21
一種帶有人工疇構(gòu)造的聲表面波器件用的基片及其制備方法,該基片為鈮酸鋰晶體或鉭酸鋰晶體制成的晶片,所述晶片為單面或雙面鏡面拋光,晶片的背面分布有周期性反轉(zhuǎn)線條疇或點(diǎn)陣疇,反轉(zhuǎn)線條疇或點(diǎn)陣疇的周期寬度為3~200微米,反轉(zhuǎn)線條疇或點(diǎn)陣疇的深度為晶片厚度的1/10~1/1。該晶片的正面用于制作SAW叉指換能器,制作的SAW器件具有低靜電、低溫度系數(shù)等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“帶有人工疇構(gòu)造的聲表面波器件用的基片及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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