本發(fā)明涉及一種TC?SAW諧振器、制作方法和濾波器,TC?SAW諧振器包括:單晶補(bǔ)償襯底、設(shè)置在單晶補(bǔ)償襯底上的單晶壓電材料層和設(shè)置在單晶壓電材料層上的叉指換能器;單晶壓電材料層為10~60°Y切鉭酸鋰或者0~70°Y切鈮酸鋰;單晶壓電材料的厚度為0.05λ~1λ,λ為聲表面波波長;單晶補(bǔ)償襯底為正溫度系數(shù)的石英材料;具有更低溫度系數(shù)要求和更高機(jī)電耦合系數(shù),進(jìn)一步提升Q值。
聲明:
“TC-SAW諧振器、制作方法和濾波器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)