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在負(fù)極集流體材料上激光濺射沉積漁網(wǎng)狀SiOx薄膜的制備方法

1033   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:32:20
本發(fā)明公開了一種在負(fù)極集流體材料上激光濺射沉積漁網(wǎng)狀SiOx薄膜的制備方法,以硅片作為濺射靶材,以負(fù)極集流體材料作為沉積基底,將負(fù)極集流體材料和硅片同時固定于試樣臺上,采用激光濺射沉積的方法,靶材硅片在激光的燒蝕作用下與背景氣體氧氣發(fā)生反應(yīng)生成SiOx沉積在負(fù)極集流體材料基底上。將本發(fā)明制備得到的沉積有SiOx薄膜的負(fù)極集流體材料作為鋰離子電池負(fù)極,是一種具有高容量和循環(huán)穩(wěn)定性的鋰離子電池負(fù)極材料,且不加入任何粘結(jié)劑和導(dǎo)電劑避免了添加劑對負(fù)極材料電化學(xué)性能的不良影響。本發(fā)明實施費(fèi)用低、操作簡便,可控性高,是一種高效經(jīng)濟(jì)的合成方法。
聲明:
“在負(fù)極集流體材料上激光濺射沉積漁網(wǎng)狀SiOx薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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