本發(fā)明提供一種能夠在抑制裂紋產(chǎn)生的同時(shí)提高溫度特性的復(fù)合基板及這種復(fù)合基板的制造方法。本發(fā)明的復(fù)合基板的制造方法具備:準(zhǔn)備具有粗糙面的壓電材料的基板的步驟;通過化學(xué)方法對壓電材料的基板的粗糙面進(jìn)行蝕刻而除去損傷層的步驟;在除去了損傷層的壓電材料的基板的粗糙面沉積夾層的步驟;使沉積的夾層的表面平坦化的步驟;將壓電材料的基板經(jīng)由沉積的夾層與熱膨脹系數(shù)比壓電材料小的支承基板貼合的步驟;以及使貼合后的壓電材料的基板薄化的步驟。作為壓電材料,優(yōu)選鉭酸鋰(LT)或鈮酸鋰(LN)。
聲明:
“復(fù)合基板的制造方法及復(fù)合基板” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)