本發(fā)明公開了一種碳/金屬納米顆粒復(fù)合薄膜的制備方法,將金屬靶置于一反應(yīng)室中,然后通入一定流量的惰性氣體和碳源氣體,通過射頻濺射制得碳/金屬納米顆粒復(fù)合薄膜。在反應(yīng)過程中,碳源氣體分解得到的碳吸附在微小的金屬顆粒表面,能夠有效地抑制金屬顆粒在氣相中的團(tuán)聚,從而得到超微金屬顆粒和碳的復(fù)合膜。此方法得到的薄膜,金屬顆粒尺寸小且分散性良好,是理想的鋰離子電池
負(fù)極材料。
聲明:
“碳/金屬納米顆粒復(fù)合薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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