本實(shí)用新型涉及一種深紫外偏振棱鏡,包括兩個(gè)直角棱鏡,兩個(gè)所述棱鏡分別為四硼酸鋰Li2B4O7晶體和石英SiO2晶體,兩個(gè)所述直角棱鏡具有相同切割角,兩個(gè)所述棱鏡晶體光軸方向平行,同時(shí),兩個(gè)晶軸方向與棱鏡的入射面和出射面平行,兩個(gè)所述棱鏡通過空氣隙、光膠或者膠水配合在一起,所述振棱鏡用于深紫外波段到180nm,尤其是可以用于ArF光刻使用的193.368nm波長(zhǎng)下,同時(shí)也可以用于可見光和近紅外波段。通過四硼酸鋰Li2B4O7晶體和石英SiO2晶體這兩種材料設(shè)計(jì)新型的深紫外偏振棱鏡,滿足深紫外波段尤其是光刻波段193nm的使用,同時(shí)該棱鏡還兼具可以在紫外、可見光和近紅外使用,可以雙通道使用,大視場(chǎng)角,具有較高透過率的技術(shù)特點(diǎn),還具有高性價(jià)比的經(jīng)濟(jì)特點(diǎn)。
聲明:
“深紫外偏振棱鏡” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)