本發(fā)明涉及
鋰電池技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種制備金屬氧化物正極的方法。本發(fā)明的制備金屬氧化物正極的方法可以同時進(jìn)行多種靶材的濺射鍍膜,而且可以根據(jù)設(shè)定各個靶材的濺射速度來得到不同原子比例組分的薄膜,當(dāng)需要濺射獲得不同成分的金屬氧化物正極薄膜時,直接替換靶材即可,流程簡單快捷,生產(chǎn)效率高,符合大規(guī)模生產(chǎn)的需求。
聲明:
“制備金屬氧化物正極的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)