一種全固態(tài)電解質(zhì)薄膜濺射所用靶材的制備方法,屬于鋰離子電池領(lǐng)域。靶材成分為Li3PO4·Li2SiO3靶材,采用壓制燒結(jié)的方法制得,制備步驟如下:(1)將試劑級的Li2CO3,SiO2和NH4H2PO4按照一定比例混合;(2)將混合物與Al2O3球混合,球料比為1:12,研磨介質(zhì)為去離子水;在球磨罐中進(jìn)行球磨,球磨時間為45?51h,在球磨最后4個小時加入PEG?2000;(3)球磨后,將粉料干燥22?26h,進(jìn)行過篩和造粒處理;(4)采用干壓成型的方式將粉料壓制成型;(5)然后在空氣中燒結(jié)得到Li3PO4·Li2SiO3靶材,所述靶材直徑為76.2mm,厚度為3mm。本發(fā)明方法制備得到的靶材致密度較高,具有足夠的純度和強(qiáng)度。
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