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高良品率加厚型單晶石英坩堝及其制備工藝

1107   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:06:26
本發(fā)明公開了高良品率加厚型單晶石英坩堝,包括坩堝本體和涂覆于坩堝本體內(nèi)壁的碳化硅涂層與氮化硅涂層,所述坩堝本體包括以下原料:高純石英砂、粘接劑、偶聯(lián)劑、填料,所述高純石英砂是含有以下?lián)诫s元素的二氧化硅材料:鋁、硼、鈣、鉻、鐵、鋰、鎂、釩、鎳、鈧、鎢。本發(fā)明將高純石英砂與粘接劑、填料和偶聯(lián)劑進行混合得到的石英坩堝具有較好的粘度,粘接劑能夠?qū)Ω呒兪⑸斑M行改性處理,使得石英砂的表面孔隙增加與填料和偶聯(lián)劑進行混合,然后經(jīng)過燒結(jié)處理后能夠使得石英砂的表面得到較好的粗化效果,石英坩堝的粘度效果更好,所以石英坩堝的抗變形效果更好,具有一定抗析晶的特性,從而能夠提高單晶硅生產(chǎn)時的成品率。
聲明:
“高良品率加厚型單晶石英坩堝及其制備工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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