本發(fā)明公開了一種基于級聯(lián)雙環(huán)諧振腔游標效應(yīng)的光學加速度計芯片。包括寬譜光源、模斑轉(zhuǎn)換器、光隔離器、敏感單元、上電極、下電極、F?P腔、第一Y波導、第二Y波導、2:1型Y波導、第一光功率計、第二光功率計、解調(diào)反饋電路、鈮酸鋰單晶薄膜層、二氧化硅氧化層、硅襯底、封裝外殼。本發(fā)明具有兩個獨立的光學諧振腔：施加x向加速度，第一環(huán)形波導與橢圓盤間距改變，造成諧振波長的偏移，可以同時獲得加速度的大小與方向；兩個諧振腔的半徑有微小差異，利用光學諧振腔輸出光干涉產(chǎn)生的游標效應(yīng)可以放大第一環(huán)形波導諧振波長的頻移信號。本發(fā)明體積小、精度高、制造工藝簡單，抗電磁干擾，有較高的可靠性。