本發(fā)明涉及一種單面拋光機用藍寶石襯底拋光液,其特征在于:所述單面拋光機用藍寶石襯底拋光液是專門針對單面拋光機使用,涉及單面拋光機用藍寶石襯底拋光液制備方法。該拋光液是一種含有幾種不同粒徑大小二氧化硅的拋光液,含有二氧化硅、堿性組合物、陰離子型表面活性劑及水。二氧化硅是膠體二氧化硅、氣相二氧化硅或者沉淀法二氧化硅。堿性化合物是氫氧化鋰、氫氧化鉀、氫氧化鈉、氨水、乙二胺、三乙醇胺、氫氧化四甲基銨等有機堿類。陰離子表面活性劑是磺酸型表面活性劑、羧酸型表面活性劑及硫酸脂型表面活性劑中的至少一種。本發(fā)明根據(jù)單面拋光機的拋光特點,將含有幾種粒徑規(guī)格二氧化硅作為磨料,可以降低拋光中的摩擦阻力并取得更佳的潤滑作用,在提高拋光效率的同時有更佳拋光效果,并且可以降低生產(chǎn)成本。
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