本申請(qǐng)公開了一種電致變色器件及其制備方法，其中，電致變色器件的制備方法包括以下步驟：形成包括變色材料的電致變色層；形成包括與電致變色層接觸的反電極層，反電極層的反電極材料包括可與電致變色層的變色材料結(jié)合使得電致變色器件發(fā)生變色的離子，且所述反電極材料由含鋰的多元靶材濺射得到；通過(guò)熱處理或光處理使電致變色層和反電極層之間的交界面形成離子傳導(dǎo)且電子絕緣的界面區(qū)域。本申請(qǐng)?zhí)峁┑碾娭伦兩骷捌渲苽浞椒?，工藝?jiǎn)單，電致變色器件性能穩(wěn)定。