本發(fā)明涉及一種蒸發(fā)具有較高熔點粉末狀材料的新型電子束加熱蒸發(fā)方法與裝置。所述方法結(jié)合電子束加熱蒸發(fā)和電阻加熱蒸發(fā)兩種蒸發(fā)方式,由高壓直流電源為燈絲陰極提供負(fù)偏壓,使之與接地坩堝間形成強電場;另由低壓交流電源為燈絲熱陰極提供一個可調(diào)的工作電流,使燈絲熱陰極發(fā)射電子束流;電子束束流在強電場作用下,高速轟擊坩堝,將坩堝加熱。使用本發(fā)明的電子束加熱蒸發(fā)的方法與裝置可以制備用于電致變色器件的變色層三氧化鎢WO3薄膜和電解質(zhì)層氟化鋰LiF薄膜,制備的薄膜材料致密、電荷傳輸性能優(yōu)良;用于聚酰亞胺襯底柔性薄膜太陽電池鎳阻擋層薄膜蒸發(fā)制備時,膜厚可以得到精確控制。且設(shè)備操作簡單。
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