本發(fā)明公開了一種由通式(1)表示的(酰胺氨基烷烴)金屬化合物和一種使用所述金屬化合物制備含該金屬的薄膜的方法。(所述式中,M代表金屬原子;R1代表具有1?6個碳原子的直鏈、支鏈或環(huán)狀的烷基;R2和R3可以彼此相同或不同,各自獨立地代表具有1?3個碳原子的直鏈或支鏈的烷基,或R2和R3可以與它們連接的氮原子一起形成一個經(jīng)取代的或未經(jīng)取代的5元或6元環(huán)。Z代表具有1?10個碳原子的直鏈或支鏈的亞烷基(但是,可選地,其一部分可形成環(huán))。配位體的數(shù)目由n表示,n為1?3中的一個整數(shù),并且等于金屬M的化合價數(shù)。但是,排除M為Li(鋰)、Be(鈹)、Ge(鍺)或Nd(釹)的情況,M為Mg(鎂)且R1為甲基的情況,M為Zn(鋅)且R1為甲基的情況,M為Bi(鉍)且R1為叔丁基的情況。此外,當n為2或更大時,兩個或多個配位體可以彼此相同或不同。)
聲明:
“(酰胺氨基烷烴)金屬化合物及使用所述金屬化合物制備含金屬的薄膜的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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