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用于半導體晶片的拋光藥液組合物、拋光藥液及制備方法

1029 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 00:23:44

本發(fā)明涉及一種用于半導體晶片拋光藥液的組合物，包括次氯酸鋰、碳酸氫鹽和硅溶膠。本發(fā)明還涉及了一種包括所述組合物的拋光藥液以及制備方法。本發(fā)明提供的拋光藥液可以針對（111）特殊角度的半導體晶片，以達到光滑均勻，沒有腐蝕坑、孔洞等缺陷的優(yōu)異晶片表面。本發(fā)明提供的拋光藥液可作為通用性拋光藥液，而且原料價廉易得、降低了藥液成本，具有廣闊的市場應用價值。

聲明：

“用于半導體晶片的拋光藥液組合物、拋光藥液及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)