1+xAlxGe2-x(PO4)3固體電解質(zhì)薄膜的制備方法及應(yīng)用,加工技術(shù)"> 1+xAlxGe2-x(PO4)3固體電解質(zhì)薄膜的制備方法及應(yīng)用,本發(fā)明提供了一種Li1+xAlxGe2?x(PO4)3固體電解質(zhì)薄膜的制備方法及應(yīng)用,所述方法包括以下步驟:a、靶材的制備:按照化學(xué)式中各元素的摩爾比稱取原料,其中,0≤x≤1;將原料混合均勻后升溫至600℃,并在空氣氣氛中保溫4h,反應(yīng)結(jié)束后得到白色粉末;在所述的白色粉末中加入Ge粉,充分研磨得到灰白色粉末;對所得的灰白色粉末進(jìn)行壓制并燒制成圓餅狀靶材;b、采用射頻磁控濺射法制備Li1+xAlxGe2?x(PO4)3固體電解質(zhì)薄膜;c、薄膜后處理。本發(fā)明">
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