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單晶硅生長分區(qū)式不間斷穩(wěn)定供電技術(shù)

1057   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:26:04
本發(fā)明提供一種提拉法單晶硅生長分區(qū)式不間斷穩(wěn)定供電技術(shù)。市電與單晶生長爐完全斷開,只通過本發(fā)明供電技術(shù)供電。硅單晶生長爐用電分成直流和交流兩個(gè)區(qū)域,直流區(qū)域?yàn)榧訜崞骱涂刂葡到y(tǒng),交流區(qū)域?yàn)闋t體冷卻、晶體旋轉(zhuǎn)、坩堝旋轉(zhuǎn)等輔助系統(tǒng)。本發(fā)明主體分成四個(gè)部分,第一部分為市電及備用電源輸入、整流穩(wěn)定及充電部分,且通過升壓將電壓提高12%;第二部分為電池組部分,采用鋰離子電池做為長效型電池存儲(chǔ)單元;第三部分為直流輸出部分,是主功率輸出部分,具備電壓和電流的雙重供電調(diào)節(jié)能力,分為多級(jí)體系,為加熱器和控制系統(tǒng)供電;第四部分為交流輸出部分,采用逆變器輸出,為冷卻水等輔助系統(tǒng)供電,穩(wěn)定性高,電壓及頻率波動(dòng)小。
聲明:
“單晶硅生長分區(qū)式不間斷穩(wěn)定供電技術(shù)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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