本公開的復(fù)合基板具備:由鉭酸鋰晶體構(gòu)成且歐拉角為(0、α、γ)的第1基板10;以及由與所述第1基板10接合的硅單晶構(gòu)成且歐拉角為(?45、?54.7、β)的第2基板20,α為?40°~?60°或120°~140°,γ為0°或180°,并且滿足以下情況的任一者。(1)為β=γ±20°以內(nèi)以及其等效的取向,(2)γ+160°≤β≤γ+200°。
聲明:
“復(fù)合基板以及使用其的彈性波元件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)