本發(fā)明為一種層疊結(jié)構(gòu)體,其具有結(jié)晶性襯底和以鎵作為主要成分并且具有β?gallia結(jié)構(gòu)的結(jié)晶性氧化物膜,所述結(jié)晶性襯底為以鉭酸鋰作為主要成分的結(jié)晶性襯底;由此提供一種具有熱穩(wěn)定結(jié)晶性氧化物膜的廉價(jià)層疊結(jié)構(gòu)體。
聲明:
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