本實(shí)用新型涉及
鋰電池領(lǐng)域,特別涉及一種金屬
復(fù)合材料制備裝置,所述金屬?gòu)?fù)合材料制備裝置包括沉積腔體和獨(dú)立設(shè)置于所述沉積腔體內(nèi)的基臺(tái)及多個(gè)獨(dú)立設(shè)置且氣壓可調(diào)的蒸發(fā)腔;所述蒸發(fā)腔內(nèi)設(shè)置有放置蒸料的蒸發(fā)位,所述基臺(tái)上用于放置待沉積基底,所述蒸料由蒸發(fā)位蒸發(fā)并沉積在所述待沉積基底之上。利用上述可金屬?gòu)?fù)合材料制備裝置,提高多元材料共蒸發(fā)的可控性,從而更精準(zhǔn)地控制金屬或金屬化合物蒸料的蒸發(fā)速率,以提高所述蒸發(fā)沉積的沉積物中蒸料比例范圍及蒸發(fā)沉積的均勻度。
聲明:
“金屬?gòu)?fù)合材料制備裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)