本發(fā)明公開了一種分離回收砂漿中砷化鎵的方法,涉及晶片制造技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的一種分離回收砂漿中砷化鎵的方法,所述方法是將廢棄砂漿進(jìn)行沉淀分離得到切削油和固體混合物,再將混合固體用混合酸液處理分離得到碳化硅和含鎵溶液,最后將含鎵溶液進(jìn)行還原得到砷化鎵固體。本發(fā)明公開了一種分離回收砂漿中砷化鎵的方法,利用砷化鎵和氮化硅之間物理性質(zhì)的差異進(jìn)行分離回收,分離徹底,便于再次生產(chǎn)利用,能夠有效降低生產(chǎn)成本。
聲明:
“分離回收砂漿中砷化鎵的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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