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一種鎢鉬合金旋轉(zhuǎn)靶材的生產(chǎn)方法

1186   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:25:53
一種鎢鉬合金旋轉(zhuǎn)靶材的生產(chǎn)方法,包括以下步驟:首先選取鎢粉和鉬粉并進(jìn)行混料,混料完成后裝入模具進(jìn)行壓制成坯,然后經(jīng)燒結(jié)后脫模,形成粗品,制備的粗品經(jīng)機(jī)械加工、退火處理、化學(xué)物理檢測(cè)和超聲清洗后形成靶材,配制鎢鉬噴涂粉末,將鎢鉬噴涂粉末噴涂到靶材的腔體內(nèi)形成產(chǎn)品,本發(fā)明工藝簡(jiǎn)單,不僅大大了降低了旋轉(zhuǎn)靶材的生產(chǎn)成本,而且制備的靶材具有組織均勻晶粒細(xì)小、高耐熱沖擊等優(yōu)良性能,從而適用于大面積TFT薄膜的生產(chǎn)。
聲明:
“一種鎢鉬合金旋轉(zhuǎn)靶材的生產(chǎn)方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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