本發(fā)明公開了一種用于化學沉積中電勢影響快速分析的方法,是在長條狀電解池兩端固定正負驅(qū)動電極,電解池中布置化學沉積基板,將化學鍍液置于電解池中,在啟動化學沉積的同時,利用電解池兩端的電極在溶液中產(chǎn)生梯度電勢場,使進行化學沉積的基板表面與溶液之間形成不同的電勢差值,實現(xiàn)了在一定電勢差范圍內(nèi)同步進行化學沉積的過程,通過分析基板不同位置上沉積材料物性即能夠判斷不同電位下化學沉積特性。本發(fā)明的方法快速準確、電位高低可控,能夠廣泛用于不同化學鍍液、不同金屬化學沉積過程的電勢影響分析。
聲明:
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