本發(fā)明公開了一種化學(xué)物質(zhì)復(fù)介電常數(shù)測(cè)量裝置的尺寸確定方法以及測(cè)量裝置，所述方法包括：S101、計(jì)算腔體本體不同尺寸時(shí)腔體內(nèi)部材料所對(duì)應(yīng)的S參數(shù)的單調(diào)性，以確定單調(diào)性曲線變化最優(yōu)的尺寸；S102、以單調(diào)性最優(yōu)的尺寸所對(duì)應(yīng)的腔體本體為模型制作腔體本體；S103、使腔體本體與矢網(wǎng)分析儀連接；S104、選取介電常數(shù)實(shí)部參數(shù)集合內(nèi)的接近最小值的一個(gè)介電系數(shù)其對(duì)應(yīng)的物質(zhì)作為第一物質(zhì)，選取靠近最大值的一個(gè)介電系數(shù)其對(duì)應(yīng)的物質(zhì)稱之為第二物質(zhì)，將該第一物質(zhì)及第二物質(zhì)獨(dú)立的放入所述制作成型的腔體本體中，以分別測(cè)量所述第一物質(zhì)及第二物質(zhì)的S參數(shù)并對(duì)比；S105、若對(duì)比后的誤差小于一預(yù)定值時(shí)，則將該腔體本體視為最佳尺寸的腔體本體。