本發(fā)明提供了一種化學(xué)機(jī)械研磨工藝模型的預(yù)測(cè)方法，包括：從第一角以固定的步進(jìn)尺寸將版圖劃分為多個(gè)第一格點(diǎn)，直到位于版圖邊緣的第一格點(diǎn)的尺寸小于或等于非邊緣的第一格點(diǎn)的尺寸，若邊緣第一格點(diǎn)的尺寸小于非邊緣第一格點(diǎn)的尺寸，則邊緣第一格點(diǎn)為非完整格點(diǎn)并具有長(zhǎng)和寬；將版圖重新劃分為多個(gè)第二格點(diǎn)，包括：從非完整格點(diǎn)所在的邊和非完整格點(diǎn)的對(duì)邊開(kāi)始劃分多個(gè)邊緣第二格點(diǎn)，剩余的版圖根據(jù)步進(jìn)尺寸劃分為多個(gè)非邊緣第二格點(diǎn)；提取非邊緣第二格點(diǎn)的幾何信息；從邊緣第二格點(diǎn)所在的邊開(kāi)始以步進(jìn)尺寸在版圖上劃分第三格點(diǎn)，并提取第三格點(diǎn)內(nèi)的幾何信息，最后將所有幾何信息引入化學(xué)機(jī)械研磨模型中進(jìn)行預(yù)測(cè)，并進(jìn)行熱點(diǎn)檢測(cè)。