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可實時監(jiān)測液位的化學品供液罐

1087 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:47:31

本實用新型屬于化學品供液罐領域，具體地說是一種可實時監(jiān)測液位的化學品供液罐，包括罐體、封蓋、可伸縮儲液筒、執(zhí)行器位置傳感器及被感應零件，可伸縮儲液筒設置于罐體的內(nèi)腔中、且上端開口而下端密封，被感應零件設置于可伸縮儲液筒的下端，執(zhí)行器位置傳感器安裝于罐體的外部、并檢測被感應零件的高度位置。被感應零件在可伸縮儲液筒的下端隨可伸縮儲液筒上下移動，通過執(zhí)行器位置傳感器測出被感應零件的高度位置，進而得出可伸縮儲液筒內(nèi)腔中液體的高度大小。該過程中執(zhí)行器位置傳感器輸出模擬量信號，轉換成的液位高度曲線可為線性、連續(xù)，可對罐體中液體的液位進行實時監(jiān)測，以便隨時補充液體，從而完成對晶圓的不間斷加工。

聲明：

“可實時監(jiān)測液位的化學品供液罐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)