制造半導(dǎo)體元件的方法,包括在半導(dǎo)體襯底上形成第一層,提供由第一組份和第二組份組成的混合物,光學(xué)檢測(cè)混合物中第一組份的濃度,并將混合物涂在第一層上。本方法使用的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)系統(tǒng)(100)包括導(dǎo)管(110),它具有第一輸入端(111)、CMP研磨劑輸出端(113)和CMP研磨劑感應(yīng)端(114)。CMP系統(tǒng)還包括位于CMP研磨劑感應(yīng)端附近的折射計(jì)(150)。
聲明:
“制造半導(dǎo)體元件的方法及其化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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