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等離子體化學(xué)氣相沉積法制備光纖預(yù)制棒的裝置

929   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:59:00
本實(shí)用新型公開了一種等離子體化學(xué)氣相沉積法制備光纖預(yù)制棒的裝置,包括底板以及加熱爐,所述加熱爐的頂部插接有兩組限位銷,且限位銷設(shè)置在加熱爐得到前后兩端,所述擋板兩側(cè)外壁開設(shè)有一號(hào)滑槽,并在加熱爐的兩側(cè)內(nèi)壁開設(shè)有二號(hào)滑槽,且限位銷插接在一號(hào)滑槽和二號(hào)滑槽之間。本實(shí)用新型所述的一種等離子體化學(xué)氣相沉積法制備光纖預(yù)制棒的裝置,一是通過(guò)在石英管組件的中心設(shè)置中心靶棒,使該裝置可以用來(lái)進(jìn)行常規(guī)的等離子體化學(xué)氣相沉積,也可以同時(shí)相對(duì)于中心的石英棒進(jìn)行等離子體外沉積,特別適合生產(chǎn)帶低折射率包層的預(yù)制棒;二是通過(guò)在加熱爐的外部設(shè)置限位銷,能夠?qū)ρb置內(nèi)的器件進(jìn)行修理與檢測(cè),從而降低裝置修理的難度。
聲明:
“等離子體化學(xué)氣相沉積法制備光纖預(yù)制棒的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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