本實用新型適用于化學氣相沉積技術領域,提供了一種等離子體化學氣相沉積設備進氣機構,包括筒體、端蓋、平滑段和固定盤一,所述平滑段固定安裝于端蓋的側面,平滑段側面安裝有過渡段,其與筒體同軸線布置;所述固定盤一布置于筒體的內(nèi)壁,固定盤一與筒體內(nèi)側安裝的固定盤二平行布置,固定盤一和固定盤二均與過渡段之間形成流道,且固定盤二上流道的直徑大于固定盤一上流道的直徑,以便于氣體流動;本進氣結構在使用時,能對進入設備的氣體溫度進行檢測,并將氣體加熱到所需的溫度,還能從側面將氣體均勻的向外排出,以便于化學氣相沉積設備使用,從而保證其以最佳的狀態(tài)運行。
聲明:
“等離子體化學氣相沉積設備進氣機構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)