本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N吸盤裝置及化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備。該吸盤裝置包括:密封防護(hù)罩;膜組件,設(shè)置于所述箱式密封防護(hù)罩下側(cè),所述膜組件內(nèi)具有內(nèi)腔;氣動(dòng)組件,設(shè)置于所述箱式密封防護(hù)罩內(nèi)、并通過(guò)氣管與所述膜組件的內(nèi)腔連通,所述氣管的材料為透光材料;以及探測(cè)組件,包括相對(duì)地設(shè)置在所述氣管的兩側(cè)的光源和傳感器,所述傳感器用于接收所述光源發(fā)出、并經(jīng)過(guò)所述氣管的光,以生成檢測(cè)信號(hào)。
聲明:
“吸盤裝置及化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)