本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的調(diào)節(jié)器及調(diào)節(jié)方法,該化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備用于在旋轉(zhuǎn)的壓板墊上研磨基板。該調(diào)節(jié)器包括圓盤固定器、活塞桿、外殼及負(fù)載傳感器。該圓盤固定器緊固精細(xì)地切割該壓板墊的表面的調(diào)節(jié)圓盤。該活塞桿將軸向力遞送至該圓盤固定器。該外殼覆蓋該活塞桿的至少一部分。該負(fù)載傳感器經(jīng)安裝以接收該活塞桿遞送至該活塞桿的該軸向力且測(cè)量該軸向力。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的調(diào)節(jié)器及調(diào)節(jié)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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